不均匀分布理论:由于气流分布的均匀和尘粒分布的不均匀造成洁净室内浓度场的分布不均匀。
轻离子:是带有一个电荷,而由若干个中性气体分子组成的集合物。
中离子:是包含有100个左右气体分子的很小的带电微粒。
重离子:是比轻离子约大1000倍的带电颗粒。
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